Algemeen
Wereldwijd levert Fergutec hoogwaardige DC voedingen voor plasma applicaties in diverse uitvoeringen; standaard of specifiek geoptimaliseerd naar uw applicatie. De voedingen zijn leverbaar met enkelvoudige en meervoudige uitgangen. Indien gewenst, door Fergutec compleet geïnstalleerd en geïntegreerd in uw machinebesturing.

De kwaliteit van deze voedingen is de beste in de markt. De "Mean Time Between Failures (MTBF) is > 70.000 uur. Naast de uitstekende prijs/kwaliteit verhouding en de hoge betrouwbaarheid zijn ze ook bijzonder eenvoudig te bedienen.

De DC voedingen zijn voorzien van extreem snelle dynamische arc herkenning en arc onderdrukkingsvoorzieningen. Standaard leverbaar met vermogens van 0,5 tot 30kW, en parallele koppeling voor hogere vermogens tot 240kW. De voedingen zijn allen te verkrijgen met diverse uitgangsspanningen varierend tussen 400 en 1000V (of klantspecifiek op aanvraag) De voedingen zijn voorzien van geforceerde luchtkoeling of waterkoeling afhankelijk van uitvoering en vermogen.

De voedingen kunnen worden gebruikt in de modi: stroom geregeld, spanning geregeld, vermogen of 'joule mode' geregeld. De DC-voedingen zijn extern aan te sturen door diverse analoge I/O- of profibus interfaces.


Typische applicaties (DC & pulsed DC)

• sputteren, reactive sputteren
• pvd, bias sputteren
• plasmanitreren
• etsen
• electroplating
• plasma cleaning
• oppervlakte-activering
• ionenbronnen
• neutralizers
• elektromagneten

De sales brochures van de diverse series kunt u hieronder downloaden. Voor meer informatie, kunt u via het invulformulier bij ons de technische manuals van de diverse series aanvragen. Wij sturen u deze direct toe.

Vraag bij ons vrijblijvend een demo unit aan voor evaluatie in uw applicatie.

 Neem telefonisch contact met ons op of stuur een e-mail.

DC Pulsed
Pulsed DC wint meer en meer aan populariteit vanwege de positieve eigenschappen van deze techniek.

Voor de DC pulse applicaties bieden we een serie geregelde pulse generatoren (RD-4000) welke enorme mogelijkheden toevoegen aan de DC plasma voedingen. Deze pulse generatoren werken naadloos samen de DC power supplies en vormen één zeer flexibel en robuust concept.

Met deze reeks pulse RD-400 generatoren is het mogelijk DC positief, DC negatief, symmetrisch of asymmetrisch unipolair positief, unipolair negatief of bipolair te pulsen. Beschikbare pulse power range modellen: 0-200kW, met een frequency bereik van 0,5-75 kHz. Afwijkende specificaties op verzoek.


Zie onderzijde van deze pagina voor specificaties en downloads.